[实用新型]单晶炉单入口式水冷炉盖无效
| 申请号： | 200920031784.9 | 申请日： | 2009-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN201372320Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 时刚;韩有河 | 申请（专利权）人： | 西安创联新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710075陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 单晶炉单入口式水冷炉盖，包括炉盖本体1，本体1的上端设置有视口2和观察窗3及出水口4，本体1上还设置有进水管5，本体1的内壁上设置有螺旋状的水槽6，水槽6的一端与进水管5相连通，另一端分别与视口2和观察窗3相连通，末端与出水口4相连通。冷却水由进水管5通入，通过螺旋状的水槽6连续、均匀地依次疏散到炉盖本体1、视口2、观察窗3部位，最后经出水口4流出，本实用新型结构紧凑，美观，安全性高，能方便、可靠地实现半导体材料晶体生长炉炉盖的冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉单 入口 水冷 | ||
【主权项】：
1、单晶炉单入口式水冷炉盖，包括炉盖本体(1)，本体(1)的上端设置有视口(2)和观察窗(3)及出水口(4)，其特征在于，本体(1)上还设置有进水管(5)，本体(1)的内壁上设置有水槽(6)，水槽(6)的一端与进水管(5)相连通，另一端分别与视口(2)和观察窗(3)相连通，末端与出水口(4)相连通。
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