[实用新型]石英坩埚涂层机

摘要

一种石英坩埚涂层机，它有一个不锈钢罐体，在不锈钢罐体内设有石英加热器，在不锈钢罐体底部设有空心主轴，主轴上端插入不锈钢罐体内，在主轴上端连接有转盘，在转盘上端面均布有定位爪，在不锈钢罐体底部固定有电机，主轴下部与电机轴连接，在主轴内插有喷淋器，喷淋器下端设有储料罐，储料罐设有进风口和出料口，所述的储料罐的出料口与喷淋器连通。优点是：能够对石英坩埚内表面进行涂层，涂层效果好，生产效率高，可使坩埚内表面形成一层碳酸钡薄膜，提高石英坩埚的质量和成品率；同时该薄膜在拉制单晶硅时能够隔离单晶硅和坩埚内表面的腐蚀，避免坩埚内表面发生析晶和渗漏，防止拉制单晶硅时的断苞和位错，提高拉制单晶硅的质量和合格率。

主权项

1、一种石英坩埚涂层机，其特征是：它有一个密闭的不锈钢罐体，在不锈钢罐体内设有石英加热器，在不锈钢罐体的底部设有可旋转的空心主轴，所述的主轴上端插入不锈钢罐体内，在主轴上端连接有转盘，在转盘上端面均布有多个定位爪，在不锈钢罐体底部固定有电机，所述的电机位于不锈钢罐体外，主轴下部与电机轴通过皮带传动连接，在主轴内插有喷淋器，喷淋器下端设有一个储料罐，储料罐设有进风口和出料口，所述的储料罐的出料口与喷淋器连通。