[实用新型]石英坩埚涂层机

权利要求书

1、一种石英坩埚涂层机，其特征是：它有一个密闭的不锈钢罐体，在不锈钢罐体内设有石英加热器，在不锈钢罐体的底部设有可旋转的空心主轴，所述的主轴上端插入不锈钢罐体内，在主轴上端连接有转盘，在转盘上端面均布有多个定位爪，在不锈钢罐体底部固定有电机，所述的电机位于不锈钢罐体外，主轴下部与电机轴通过皮带传动连接，在主轴内插有喷淋器，喷淋器下端设有一个储料罐，储料罐设有进风口和出料口，所述的储料罐的出料口与喷淋器连通。

2、根据权利要求1所述的石英坩埚涂层机，其特征是：在不锈钢罐体的底部设有支座，在支座下部固定有横梁，所述的储料罐安装在横梁上。

3、根据权利要求1所述的石英坩埚涂层机，其特征是：所述的电机通过吊架固定在不锈钢罐体上。

4、根据权利要求1所述的石英坩埚涂层机，其特征是：在主轴上端固接有一个法兰盘，所述的转盘通过法兰盘与主轴连接。

5、根据权利要求1所述的石英坩埚涂层机，其特征是：所述的喷淋器是由插在主轴内的导管以及安装在导管上端的导向盖和喷头构成。