[实用新型]坩埚成型装置无效
| 申请号： | 200920014432.2 | 申请日： | 2009-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN201347405Y | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 赵青山;侯建 | 申请（专利权）人： | 锦州佑鑫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所 | 代理人： | 李 辉 |
| 地址： | 121000辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种坩埚成型装置，包括水冷夹套和空心轴，在水冷夹套内设有串水夹层，在串水夹层内设有回水管，在空心轴下端设有旋转接头，其特殊之处是：在空心轴内孔设有一根进水管，空心轴内孔与进水管之间形成环形回水腔，所述的旋转接头分别与进水管和回水腔相通，在空心轴上均布有多个排气通道，排气通道进口位于水冷夹套内底面、排气通道出口位于空心轴外表面，在空心轴上安装有轴承座，在轴承座上设有与排气通道相通的排气孔。优点是：可提高坩埚内表面的抽真空效果，使坩埚内表面的真空层更加透明，气泡明显减少，提高坩埚成品率10～60％；使坩埚内表面的密度增强，延长坩埚的使用寿命，避免单晶硅在熔融时的断苞和位错现象；提高设备完好率，方便维修。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 成型 装置 | ||
【主权项】：
1、一种坩埚成型装置，包括相互连接的水冷夹套和空心轴，在水冷夹套内设有串水夹层，在串水夹层内设有回水管，在空心轴下端设有旋转接头，其特征是：在空心轴内孔设有一根进水管，空心轴内孔与进水管之间形成环形回水腔，所述的旋转接头分别与进水管和回水腔相通，在空心轴上均布有多个排气通道，排气通道进口位于水冷夹套内底面、排气通道出口位于空心轴外表面，在空心轴上安装有轴承座，在轴承座上设有与排气通道相通的排气孔。
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