[实用新型]坩埚成型装置

说明书

技术领域

本实用新型属于电弧坩埚制造机的倾动回转台上的设备，特别涉及一种坩埚成型装置。

背景技术

电弧坩埚制造机是由电极升降机构、往复倾动机构和电控热源装置三大部分组成。在往复倾动机构中设有由水冷夹套和空心轴构成的坩埚成型装置，水冷夹套和空心轴仅起通水冷却的作用，功能比较单一，自从采用真空法生产电弧石英坩埚以后，真空排气也要通过水冷夹套和空心轴。由于冷却水和气体都要从一个通道里通过，而空心轴的孔径是∮50mm，有四根∮16mm的上下水管通过，因此暴露了以下技术缺陷：1、加工难度较大；2、在焊接时不慎容易泄漏水或气，气水混合后造成坩埚在熔融过程中鼓包和漏底，大大降低坩埚的成品率；3、由于四根水管占去了空心轴内孔的较大空间，因此排气的空间相应就变小，导致坩埚内表面的真空层的真空效果达不到拉制单晶硅的技术要求。

发明内容

本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题，提供一种坩埚成型装置，以便于加工，提高产品成品率，使坩埚内表面真空层的真空效果符合拉制单晶硅的技术要求。

本实用新型的技术方案是：它包括相互连接的水冷夹套和空心轴，在水冷夹套内设有串水夹层，在串水夹层内设有回水管，在空心轴下端设有旋转接头，其特殊之处是：在空心轴内孔设有一根进水管，空心轴内孔与进水管之间形成环形回水腔，所述的旋转接头分别与进水管和回水腔相通，在空心轴上均布有多个排气通道，排气通道进口位于水冷夹套内底面、排气通道出口位于空心轴外表面，在空心轴上安装有轴承座，在轴承座上设有与排气通道相通的排气孔。

上述的坩埚成型装置，在轴承座和空心轴之间设有密封套。

上述的坩埚成型装置，所述的串水夹层延伸至水冷夹套底部，在空心轴上部设有连通回水管与回水腔的环形水套，以使坩埚熔融时四周温度一致，缩短坩埚的熔融时间，提高坩埚熔融的质量和真空层。

上述的坩埚成型装置，所述的排气通道为六个，每个排气通道是由设在空心轴内上部的轴向孔和与轴向孔下端相通的径向孔、设在轴向孔上端与水冷夹套内底面之间的排气管构成，从而提高坩埚内表面的抽真空效果。

上述的坩埚成型装置，所述的排气孔为两个且对称布置。

本实用新型的优点是：

1、由于在空心轴上将进水管和排气通道分开，增大了排气空间，可提高坩埚内表面的抽真空效果，坩埚内表面的真空层更加透明，气泡明显减少，提高坩埚成品率10～60％。

2、由于坩埚内表面真空层的真空度提高，使坩埚内表面的密度增强、气泡减少，延长了坩埚的使用寿命，使坩埚由原来可以连续使用40个小时延长到连续使用80个小时；避免了单晶硅在熔融时的断苞和位错的现象。

3、由于进水管和排气通道分离开，延长了密封装置的使用寿命，提高了设备完好率，方便维修，节约了维修成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中A部放大图。

图中：旋转接头1，进水口101，出水口102，带轮2，轴座3，空心轴4，回水腔401，回水孔402，进水管5，排气通道6，排气管601，轴承座7，排气孔701，环形水套8，法兰9，回水管10，水冷夹套11，石墨模具12，串水夹层13，密封套14。

具体实施方式