[实用新型]集成电路芯片结构无效
申请号: | 200920002913.1 | 申请日: | 2009-01-16 |
公开(公告)号: | CN201336308Y | 公开(公告)日: | 2009-10-28 |
发明(设计)人: | 任翀 | 申请(专利权)人: | BCD半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01L27/04 | 分类号: | H01L27/04;H01L23/485 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王 洁 |
地址: | 英属开曼*** | 国省代码: | 开曼群岛;KY |
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摘要: | 本实用新型提出一种集成电路芯片结构,其包括:半导体衬底;N型或P型掺杂区,多晶硅,绝缘层和多层金属布线等结构,制作在所述半导体衬底上;钝化层,沉积在上述结构上,其具有多个光刻形成的连接孔;多个顶层金属区域,电镀形成于所述多个连接孔上,其中所述多个顶层金属区域下部具有阻挡层,上部具有保护层。本实用新型提出的集成电路芯片结构,其顶层金属层能够有效增加功率器件局部金属层的厚度,能够用作可放置在有源器件上的压焊金属层,从而减少芯片面积,直接使用铜封装技术,集成电路降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 芯片 结构 | ||
【主权项】:
1.一种集成电路芯片结构,其特征在于包括:半导体衬底;N型或P型掺杂区,多晶硅,绝缘层和多层金属布线等结构,制作在所述半导体衬底上;钝化层,沉积在上述结构上,其具有多个光刻形成的连接孔;多个顶层金属区域,电镀形成于所述多个连接孔上,其中所述多个第二金属区域下部具有阻挡层,上部具有保护层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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