[发明专利]一种方孔光子筛及其制作方法无效
| 申请号： | 200910310249.1 | 申请日： | 2009-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102073084A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 谢常青;潘一鸣;朱效立;贾佳;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种方孔光子筛及其制作方法，所述光子筛包括透光衬底和镀在透光衬底上的不透光金属薄膜；所述不透光金属薄膜上分布有多个透光方形小孔；所述方形小孔呈环带状分布，所述环带半径为rm、宽度为wm，其中： |
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| 搜索关键词： | 一种 光子 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种方孔光子筛，所述光子筛包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的不透光金属薄膜；其特征在于：所述不透光金属薄膜上分布有多个透光方形小孔；所述方形小孔呈环带状分布，所述方形小孔的对角线与方形小孔所在环带相垂直。
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