[发明专利]一种光电位移传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 200910308373.4 | 申请日： | 2009-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101672624A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 吴茹菲;洪何清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光电位移传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述光电位移传感器包括激光器、光纤和位移刻度板，激光器安装于被测物体的主轴上，并可沿被测物体的主轴进行运动；激光器产生的激光束通过光纤照射到位移刻度板上；位移刻度板上的位移刻度由具有光电导效应的半导体材料制成，位移刻度板用于感应通过光纤传输的激光束，并产生光电流。本发明光电位移传感器的结构简单紧凑、体积小、便于携带且测量精度相对传统的位移传感器大幅度提高，由于采用光电技术实现了非接触式位移传感，可以延长传感器的使用寿命，同时能够应用于微电子的大规模生产技术中，使得生产成本下降，传感器的价格相对国外类似高端产品的价格低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 位移 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光电位移传感器，其特征在于，所述传感器包括激光器(1)、光纤(2)和位移刻度板(3)，所述激光器(1)安装于被测物体的主轴(8)上，并沿被测物体的主轴(8)进行运动；所述激光器(1)产生的激光束通过所述光纤(2)照射到所述位移刻度板(3)上；所述位移刻度板(3)上的位移刻度由具有光电导效应的半导体材料制成，所述位移刻度板(3)用于感应通过所述光纤(2)传输的激光束，并产生光电流。
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