[发明专利]连续式生产设备无效
| 申请号： | 200910305863.9 | 申请日： | 2009-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN102064083A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 姚朝祯 | 申请（专利权）人： | 钰衡科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 杨建君 |
| 地址： | 中国台湾台南县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种连续式生产设备，具有至少一腔体以及设置在该腔体二侧的传动机构，其特征在于：该连续式生产设备更包括：至少一加热模块，是设置在该腔体内部，其具有：一设置板体，具有至少一固定孔以及复数个孔径大于该固定孔的调整孔；复数个固定组件，其直径是符合该固定孔的孔径；复数个加热组件，设置在该设置板体上；经过上述结构，本发明不仅可享有连续式生产的高制程效率，也可在升温至热平衡状态下使相关组件维持稳定的热变形状态而保有其升温与持温的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 生产 设备 | ||
【主权项】：
连续式生产设备，具有至少一腔体以及设置在该腔体二侧的传动机构，其特征在于：该连续式生产设备更包括：至少一加热模块，设置在该腔体内部，其具有：一设置板体，具有至少一固定孔以及复数个孔径大于该固定孔的调整孔；复数个固定组件，其直径是符合该固定孔的孔径，并穿设在该固定孔与调整孔之中而将该设置板体固设在该腔体内部；复数个加热组件，是设置在该设置板体上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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