[发明专利]连续式生产设备

说明书

技术领域

本发明是关于一种连续式生产设备，尤其是指一种增设有加热模块且不因升温后的热变形现象而影响其热处理功能的连续式生产设备。

背景技术

人们从开始工作以来，便不断地设法将部份劳力负担转移到机械上，一方面节省劳力使得工作较为轻松，另一方面也达到维持工作效率稳定的要求；随着工业发展迅速以及厂商竞争激烈的产业变迁，为了提升生产能量及维持生产效率，自动化生产的趋势自然而然地在生产过程复杂繁琐的制造业中，占得了不可或缺的重要地位。

再者，自动化生产的趋势发展至今已相当成熟，后续发展的重点即在于如何更进一步地提升制程速度及产出数量，目前，在电子、通讯、信息、显示器或光电等高科技产业当中，针对产品的导电性、磁性、光学特性或美观性等特性，必须经由若干制程来予以达成。

在该等制程中，目前所使用的多为连续式的生产设备，由于连续式生产设备多采用直列式(In-Line)的设计，每一个制程是以腔体及腔体予以连接，而形成连续式多腔体(Multi-chamber)的作业流程，其相较于传统批次式(batch type)或晶圆式(wafer type)的制程方法相比，具有可大幅减低生产成本、提升量产效能的效果，进而增进厂商竞争力

然而，该等制程视产品规格的需求而定，有时需要在高温环境下进行，比如说薄膜太阳能电池的硒化制程、形成薄膜的真空镀膜制程或是快速热退火(Rapid Thermal Annealing)制程等等，藉以赋予各种工件所需要的特性，这一类的高温制程一般是在现有技术的炉式生产设备中进行，但现有技术的炉式生产设备在生产效率上并不及于该连续式生产设备，另一方面，若要在该连续式生产设备中增设具有高温热处理功能的加热模块，则必须考虑到该加热模块在高温下是否会因热变形而与相关组件产生干扰而影响其功能。

所以，倘若能在该连续式生产设备中增设加热模块，并且使其在不因热变形而产生干扰的情况下，仍具备高温热处理功能，便可更加地符合如硒化、镀膜或退火等高温制程的规格需求以及效率标准。

发明内容

本发明人为了符合高温热处理的制程需求并且获得连续式生产的制程效率，乃积极着手从事研究，以期可以解决上述问题，经过不断的试验及努力，终于开发出本发明。

本发明的主要目的在于提供一种增设有加热模块且不因升温后的热变形现象而影响其热处理功能的连续式生产设备。

为了达到上述发明目的，本发明所采用的技术手段是：具有至少一腔体以及设置在该腔体二侧的传动机构，其特征在于：该连续式生产设备更包括：

至少一加热模块，设置在该腔体内部，其具有：

一设置板体，具有至少一固定孔以及复数个孔径大于该固定孔的调整孔；

复数个固定组件，其直径是符合该固定孔的孔径，并穿设在该固定孔与调整孔之中而将该设置板体固设在该腔体内部；

复数个加热组件，是设置在该设置板体上；

该设置板体是设置在该腔体的门板；

该设置板体是设置在该腔体的底部；

该调整孔是位于该设置板体的侧边近角落之处，并且相互对称设置；

该加热组件是以并列设置在该设置板体上；

该加热组件是红外线加热器或微波加热器。

经过上述的技术手段，本发明的有益效果是：本发明的连续式生产设备是透过该加热模块，达到实时升温与持温的效果，符合如硒化、镀膜或退火等高温制程的需求；本发明是使用该固定组件穿设在该设置板体的固定孔与调整孔中，而将该加热模块设置于该腔体内部；一方面由于该固定组件的直径符合该固定孔的孔径，所以可将该设置板体固设在该腔体内部；另一方面由于该调整孔的孔径大于该固定孔的孔径，因此该固定组件的直径是小于该调整孔的孔径，透过此项设计，当该加热模块运作以提升腔体内温度时，该设置板体与固定组件会产生热变形的现象，但因该调整孔的孔径较大，等于预留空间以容纳其热变形量，进而可避免因该设置板体的变形扭曲而破坏该加热组件，使得该加热模块不会因为热变形而造成结构破坏与功能丧失的现象；本发明不仅享有连续式生产的高制程效率，也可在升温至热平衡状态下使相关组件维持稳定的热变形状态而保有其升温与持温的功能。

附图说明

图1是本发明的连续式生产设备主视图。

图2是本发明的加热模块俯视图。

图3是本发明的加热模块仰视图。

图4是本发明的连续式生产设备作业示意图。

【主要组件符号说明】

(11)腔体          (11A)升温腔体

(11B)升温腔体     (11C)持温腔体