[发明专利]利用接触式光刻机提高丝网印刷精确对准装置及其方法

摘要

本发明是一种利用接触式光刻机提高丝网印刷精确对准装置及其方法，光刻时，将装有丝网印刷掩膜图形的定位夹具框插入到接触式光刻机里，通过辅助垫片调节高度，设置压缩空气将承片台向上运动，并通过传感感应实现X-Y-Z光刻预定位，通过显微镜对准系统将丝网的印刷图形与承片台上的晶圆片的图形对准，再将显微镜对准系统抬上去，将印刷涂料放于丝网上用刮板进行图形印刷，承片台向下回到原位取出晶圆片。优点：丝网印刷对准精度由通常厚膜技术的10-15μm提高到微电子技术的±3μm，实现多层堆叠晶圆片的不同厚度衬底的涂覆和对准，显著拓宽适用领域。结构、方法、操作简单，易集成、推广。实现丝网印刷掩膜图形替代接触式光刻掩膜版。

主权项

一种利用接触式光刻机提高丝网印刷精确对准装置，其特征是它至少包括辅助定位夹具、活动丝网框和不同厚度的辅助垫片，其中辅助定位夹具与接触式光刻机构造兼容；辅助定位夹具内侧边缘有两个与接触式对准光刻机位置对应的磁力感应器，使光刻机能够感应到夹具移动是否到位；采用嵌入式螺丝结构固定安装活动丝网框；承片台左右两边对称放置辅助垫片，辅助垫片高度高于多层堆叠晶圆片放置的水平高度，阻止承片台向上运动时圆片碰触到软的丝网而损坏丝网，并利用高度差为100μm的辅助垫片对多层堆叠晶圆片与丝网间的印刷高度进行粗调，印刷质量不随厚度改变而降低，真正实现丝网印刷在光刻机上的高精度对准。