[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
申请号: | 200910262202.2 | 申请日: | 2009-12-22 |
公开(公告)号: | CN101771013A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 小内聪;赤石实;石关浩史;佐野芳明 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社;三洋半导体株式会社 |
主分类号: | H01L23/482 | 分类号: | H01L23/482;H01L21/60 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体装置,其在铜配线上把铜引线进行引线接合而构成,抑制配线脱落和在铜引线下的绝缘膜出现裂纹的不好情况。本发明的半导体装置具备:在半导体基板(1)上形成的铜配线(8)、把所述铜配线(8)的表面和侧面覆盖地形成的镀敷层(10)、经由所述镀敷层(10)在所述铜配线(8)上进行引线接合的铜引线(22)。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,具备:在半导体基板上形成的铜配线、把所述铜配线的表面和侧面覆盖地形成的镀敷层、经由所述镀敷层在所述铜配线上进行引线接合的铜引线。
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