[发明专利]一种真空系统检漏的装置及方法有效
| 申请号： | 200910259316.1 | 申请日： | 2009-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101710017A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 李得天;成永军;冯焱;孙海;郭美如 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 730000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明的一种真空系统检漏的方法，特别是采用四极质谱计实现真空系统检漏的方法，属于测量技术领域。真空系统检漏的装置由隔断阀、真空规、真空容器、四极质谱计和抽气机组组成；其连接关系为：隔断阀通过管道和真空容器相连，抽气机组与真空容器相连并从中抽出气体，真空规、四极质谱计与真空容器连在一起。本发明通过利用四极质谱计分析真空系统残余气体成分的方法实现对真空系统进行检漏，解决了极小漏孔的检漏问题；检漏的灵敏度、效率和可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 检漏 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种真空系统检漏的装置，其特征在于：该装置由隔断阀(1)、真空规(2)、真空容器(3)、四极质谱计(4)和抽气机组(5)组成；其连接关系为：隔断阀(1)通过管道和真空容器(3)相连，抽气机组(5)与真空容器(3)相连并从中抽出气体，真空规(2)、四极质谱计(4)与真空容器(3)连在一起。
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