[发明专利]一种真空系统检漏的装置及方法

权利要求书

1.一种真空系统检漏的方法，其特征在于：该方法采用的真空系统检漏装置由隔断阀(1)、真空规(2)、真空容器(3)、四极质谱计(4)和抽气机组(5)组成；其连接关系为：隔断阀(1)通过管道和真空容器(3)相连，抽气机组(5)与真空容器(3)相连并从中抽出气体，真空规(2)、四极质谱计(4)与真空容器(3)连在一起；

该方法的具体步骤为：

1)启动抽气机组(5)，从真空容器(3)中抽出气体；

2)对隔断阀(1)、真空规(2)、真空容器(3)以及四极质谱计(4)进行烘烤除气，烘烤温度以匀速率分别升至各自最高点后，保持60～80h，然后再以匀速率逐渐降至室温，继续抽气24～48h，用真空规(2)监测真空容器(3)内的真空度，直至真空容器(3)内的极限压力小于10^-7Pa数量级；

3)打开四极质谱计(4)电源，当指示灯Ready变为绿色后，通过计算机运行四极质谱计(4)的工作软件，通过软件将SEM和Emission点亮；

4)四极质谱计(4)工作稳定1～3h以上；

5)通过四极质谱计(4)分析残余气体的谱图来确定真空容器(3)是否有漏。

2.根据权利要求1中所述的一种真空系统检漏的方法，其特征在于：所述步骤2)中的真空规为超高/极高真空电离规。