[发明专利]废气处理装置及其处理方法

摘要

本发明提供一种使用了活性炭及/或催化剂的排臭氧处理装置，其能够将排臭氧安全地降低至规定值以下，从而能够提高可靠性，降低设备及运行成本。在该排臭氧处理装置中，包含臭氧等的废气流入流路，流向活性炭塔。在活性炭塔中，利用活性炭分解在废气中含有的臭氧等气体。利用在所分解的废气的流路设置的气体浓度计测定臭氧气体浓度后，在空气等稀释气体流入的分支流路中，利用空气稀释包含臭氧的废气，利用鼓风机向大气中排放。控制装置基于气体浓度计的测定值、从输入机构接收的设定值即大气排放臭氧限制值(CA)以及活性炭着火的臭氧浓度(CH)，进行警报的发送(9)、废气的流入阻断(10)、气体流路的切换以及稀释用空气的流路调节(19)等。

主权项

一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，所述气体浓度计配置于在所述废气分解塔分解了所述废气的分解处理后的废气的流路，并且，配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气浓度，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的规定值时，指示警报。