[发明专利]废气处理装置及其处理方法

权利要求书

1.一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，

所述气体浓度计配置于在所述废气分解塔分解了所述废气的分解处理后的废气的流路，并且，配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气浓度，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的规定值时，指示警报。

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，

在所述稀释气体配管设置有流量调节阀，

所述控制部指示所述警报，并增加所述流量调节阀的开度以扩大所述稀释倍率。

3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，

作为所述废气分解塔，设置活性炭塔，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为所述活性炭塔的活性炭着火的着火浓度值，当根据所述计测的气体浓度和所述活性炭的废气分解能力算出的换算气体浓度值达到比所述着火浓度值小的规定值时，进行指示以阻断向所述活性炭塔输入废气。

4.一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，

所述气体浓度计配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气的浓度，

在所述稀释气体配管连接后的废气的流路设置有三通阀，该三通阀形成经由所述废气分解塔与所述送风机连接的第一流路和直接与所述送风机连接的第二流路，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第一规定值时，指示所述三通阀从所述第二流路切换为所述第一流路，

进而，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第二规定值时，所述控制部指示警报。

5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，

作为所述废气分解塔，设置活性炭塔，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为所述活性炭塔的活性炭着火的着火浓度值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第三规定值时，进行指示以阻断向所述废气处理装置输入废气。

6.一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，

所述气体浓度计配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气的浓度，

在所述稀释气体配管连接后的废气的流路设置有三通阀，该三通阀形成经由作为所述废气分解塔的活性炭塔与所述送风机连接的第一流路和经由作为所述废气分解塔的催化剂塔与所述送风机连接的第二流路，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第一规定值时，指示警报，

进而，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为所述活性炭塔的活性炭着火的着火浓度值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第二规定值时，指示所述三通阀从所述第一流路切换为所述第二流路。