[发明专利]多重驱动的微机电高频切换器无效
| 申请号： | 200910252937.7 | 申请日： | 2009-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101770899A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李炯毅;王钦宏 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H61/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多重驱动的微机电高频切换器，包括基板、设于基板上的加热器、位于下层金属层的共平面波导线、具有至少两金属层的可动薄膜以及位于共平面波导线与可动薄膜间的一介电层，可动薄膜为一两端固定且中央凹陷的横梁。当加热器产生的热能传导至可动薄膜、或可动薄膜与共平面波导线之间产生静电力、或两者同时产生时，该可动薄膜将往共平面波导线方向形变。可动薄膜位置的移动会改变信号线的电容值大小或改变信号线的导通状态，以切换高频信号。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 驱动 微机 高频 切换 | ||
【主权项】：
一种多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，包括：一基板；一加热器，该加热器设于该基板上；一可动薄膜，包括一两端固定且中央凹陷的横梁，其中具有连接单元的至少二金属层组成一立体堆叠结构；一共平面波导线，位于一下层金属层；以及一介电层，设于该共平面波导线与该可动薄膜之间；其中，当该加热器产生热能传导至该可动薄膜，或该可动薄膜与该共平面波导线之间产生一静电力，或二者同时产生时，该可动薄膜往该共平面波导线方向形变。
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