[发明专利]多重驱动的微机电高频切换器

权利要求书

1.一种多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，包括：

一基板；

一加热器，该加热器设于该基板上；

一可动薄膜，包括一两端固定且中央凹陷的横梁，其中具有连接单元的至少二金属层组成一立体堆叠结构；

一共平面波导线，位于一下层金属层；以及

一介电层，设于该共平面波导线与该可动薄膜之间；

其中，当该加热器产生热能传导至该可动薄膜，或该可动薄膜与该共平面波导线之间产生一静电力，或二者同时产生时，该可动薄膜往该共平面波导线方向形变。

2.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该可动薄膜与该共平面波导线具有一间隙。

3.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该可动薄膜由一上层金属层与一相邻金属层组成，且该上层金属层包括一第一形变部，而该相邻金属层包括一第二形变部，该第一形变部与该第二形变部连接以形成该两端固定且中央凹陷的横梁，该第二形变部较该第一形变部为低，且当该加热器产生热能传导至该可动薄膜，或该可动薄膜与该共平面波导线之间产生一静电力或二者同时产生时，该第二形变部与该介电层接触。

4.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，其共平面波导线包含两接地线，当该第二形变部与该介电层接触时，会形成一平行板电容结构，使高频信号通过该平行板电容结构而导入该接地线。

5.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该第一形变部受热后会朝该基板方向弯曲，而该第二形变部中央部分受该第一形变部的牵动亦朝该基板方向弯曲，与该介电层接触。

6.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，其还包括多个堆叠金属层，该多个堆叠金属层设于该相邻金属层与该下层金属层之间。

7.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，其还包括一钝化层，该钝化层设于该上层金属层上。

8.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该第二形变部包括多个沟槽，以释放该第二形变部上的残留应力。

9.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，在该第二形变部与该共平面波导线的一信号线间施加一电压，以产生该静电力。

10.根据权利要求9所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该信号线的初始状态为通路或断路。

11.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，其还包括一连接单元，连接该可动薄膜的该第一形变部与该第二形变部。

12.根据权利要求11所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，第一形变部位于第二形变部的上方且位于第二形变部的左右两侧，而该第二形变部包括至少二端部，该第一形变部分别与该端部通过该连接单元连接。

13.根据权利要求11所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该连接单元的主要材料为钨。

14.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，利用施加一电压于该加热器上以产生电热力。

15.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该加热器为多晶硅。

16.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该基板为上方具有氧化层的高电阻值材料。

17.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该基板为上方具有氧化层的硅基板。

18.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该介电层，设于该共平面波导线上。

19.根据权利要求3所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该介电层，设于该第二形变部下方。

20.根据权利要求1所述的多重驱动的微机电高频切换器，其特征在于，该介电层设于该下层金属层上。