[发明专利]等离子体产生装置有效
| 申请号： | 200910250438.4 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102098864A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张家豪;张志振 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种等离子体产生装置。等离子体产生装置包括一等离子体处理腔体、一上电极板、一下电极板及至少两个阻抗调制器。上电极板用以连接一射频电源。此些阻抗调制器两两成对。各个阻抗调制器具有一阻抗调制值曲线。此些阻抗调制器并联于上电极板的对称处。其中，各个阻抗调制值曲线随时间变化，且此些阻抗调制值曲线的一并联等效阻抗值曲线随时间固定。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体产生装置，包括：一等离子体处理腔体；一上电极板，用以连接一射频电源；一下电极板；以及至少两个阻抗调制器，这些阻抗调制器两两成对，各该阻抗调制器具有一阻抗调制值曲线，这些阻抗调制器并联于该上电极板的对称处；其中，各该阻抗调制值曲线随时间变化，且这些阻抗调制值曲线的一并联等效阻抗值曲线随时间固定。
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