[发明专利]等离子体产生装置有效
| 申请号： | 200910250438.4 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102098864A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张家豪;张志振 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 装置 | ||
1.一种等离子体产生装置，包括：
一等离子体处理腔体；
一上电极板，用以连接一射频电源；
一下电极板；以及
至少两个阻抗调制器，这些阻抗调制器两两成对，各该阻抗调制器具有一阻抗调制值曲线，这些阻抗调制器并联于该上电极板的对称处；
其中，各该阻抗调制值曲线随时间变化，且这些阻抗调制值曲线的一并联等效阻抗值曲线随时间固定。
2.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中在一时间周期内，成对的这些阻抗调制值曲线的变化相反且互补。
3.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中各该阻抗调制值曲线是直线递增或直线递减。
4.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中各该阻抗调制值曲线的最大值实质上相等。
5.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中各该阻抗调制值曲线的最小值实质上相等。
6.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中该上电极板为一矩形结构或一圆形结构。
7.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中成对的这些阻抗调制器的连线穿越该上电极板的中心。
8.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中成对的这些阻抗调制器分别电性连接于该上电极板相对应的二侧边的中点。
9.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中成对的这些阻抗调制器分别电性连接于该上电极板相对应的二角点。
10.如权利要求1所述的等离子体产生装置，其中这些阻抗调制器的变化频率是可调整的。
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