[发明专利]一种用于碳纳米管器件的大规模焊接方法无效
| 申请号： | 200910247885.4 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102115029A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 甘志银;严晗;宋晓辉;刘胜 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李平 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，通过介电电泳的方法将碳纳米管沉积在包含图形化电极的圆片上，将圆片放入射频感应加热系统的载物台上，进行短时间的加热，将圆片在真空或保护性气体的条件下冷却，加热线圈根据电极图形设置，焊接方法包含以下步骤：A.碳纳米管的分散；B.纳米管的定位定向桥连在电极对之间；C.将碳纳米管与电极进行焊接。本发明的优点是采用的射频感应加热方法，工艺简单，焊接速度快，重复性好，可靠性高，可实现大批量制造，能实现圆片级碳纳米管器件的大规模有效焊接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 器件 大规模 焊接 方法 | ||
【主权项】：
一种用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于通过介电电泳的方法将碳纳米管沉积在包含图形化电极的圆片上，将圆片放入射频感应加热系统的载物台上，进行短时间的加热，将圆片在真空或保护性气体的条件下冷却，加热线圈根据电极图形设置，焊接方法包含以下步骤：A.通过溶液将碳纳米管分散B.通过介电电泳方法将碳纳米管定位定向在电极之间，电压从0.1V到100V，电场频率从10KHz到100MHz；C.通过射频感应加热的方式将金属电极表面快速融化，使碳纳米管与金属电极进行有效可靠焊接，功率变化范围为50W到1500W，频率范围为100KHz到50MHz。
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