[发明专利]一种用于碳纳米管器件的大规模焊接方法

权利要求书

1.一种用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于通过介电电泳的方法将碳纳米管沉积在包含图形化电极的圆片上，将圆片放入射频感应加热系统的载物台上，进行短时间的加热，将圆片在真空或保护性气体的条件下冷却，加热线圈根据电极图形设置，焊接方法包含以下步骤：

A.通过溶液将碳纳米管分散

B.通过介电电泳方法将碳纳米管定位定向在电极之间，电压从0.1V到100V，电场频率从10KHz到100MHz；

C.通过射频感应加热的方式将金属电极表面快速融化，使碳纳米管与金属电极进行有效可靠焊接，功率变化范围为50W到1500W，频率范围为100KHz到50MHz。

2.根据权利要求1所述的用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于所述射频加热系统包括：射频电源，水冷系统，加热线圈，玻璃底座。

3.根据权利要求1所述的用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于所述碳纳米管为单壁碳纳米管或多壁碳纳米管或碳纳米管束。

4.根据权利要求2所述的用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于所述水冷系统包含覆盖在线圈外表面的螺旋管，通过水流过管道实现线圈的冷却。

5.根据权利要求1所述的用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于所述电极为金属合金材料，通过光刻工艺和剥离工艺制作而成。

6.根据权利要求1所述的用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于所述介电电泳方法中的电压从0.1V到100V，电场频率从10KHz到100MHz，时间参数范围为1秒到600秒。

7.根据权利要求1所述的用于碳纳米管器件的大规模焊接方法，其特征在于所述射频源的功率变化范围为50W到1500W，射频源的频率变化范围为100KHz到100MHz，射频加热时间不超过10分钟。