[发明专利]同步传输装置及具有该装置的直线传输系统和控制方法在审
| 申请号: | 200910246915.X | 申请日: | 2009-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN101814451A | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
| 发明(设计)人: | 杨明生;刘惠森;范继良;雷振宇;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L51/56;H01L31/18;G05B19/05 |
| 代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址: | 523018 广东省东莞南城区宏*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种直线传输系统的同步传输装置,包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构,驱动机构与所述传动机构连接,所述传动机构与基座枢接,所述传动机构分布于承载体的一侧且与承载体啮合,所述定位导向轨道平行地铺设于基座两侧并位于承载体下方,所述滑动机构呈滚轮结构,所述滑动机构设置在承载体上并与所述定位导向轨道滑动地卡合连接。所述同步传输装置整体结构紧凑、维修与维护方便、具有较高清洁度,且整个传输过程平稳、准直度高。本发明还公开了一种能够保证器件的平稳、高准直度地传输且具有较高稳定性的直线传输系统及其控制方法。 | ||
| 搜索关键词: | 同步 传输 装置 具有 直线 系统 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种同步传输装置,其特征在于,包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构,所述驱动机构与所述传动机构连接,所述传动机构与所述基座枢接,所述传动机构分布于所述承载体的一侧且与所述承载体啮合,所述定位导向轨道平行地铺设于所述基座两侧并位于所述承载体下方,所述滑动机构呈滚轮结构,所述滑动机构设置在所述承载体上并与所述定位导向轨道滑动地卡合连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





