[发明专利]二自由度柔性微定位工作台

摘要

本发明公开了二自由度柔性微定位工作台，包括二自由度柔性微定位工作台柔性机构及整体结构的设计，结构中采用两个压电陶瓷驱动器，每个驱动器尾部通过螺栓与基座相连，顶端通过螺纹连接球形接头，实现赫兹接触。定位工作台的柔性机构主要包括基座、两个结构完全一致的柔性支链及其支撑的动平台三部分。两个位移传感器用来测量动平台的实际输出，分别通过L型支架和Z型支架固定于基座和动平台之间。此柔性微定位工作台具有分辨率高、动态响应速度快的特点，可作为纳米压印光刻定位系统的辅助定位平台，实现微量进给和精密定位。

主权项

1.二自由度柔性微定位工作台，它包括基座和设置在所述的基座内的正方体动平台，在动平台第一组垂直相邻的两个侧壁上各自连接有一个柔性支链并且在其第二组垂直相邻的两个侧壁上分别连接有第一、二支架，在基座的两个侧壁端面上分别连接有第三、四支架，所述的基座的两个侧壁与所述的动平台第二组垂直相邻的两个侧壁分别平行，所述的第一支架的一端与第三支架的一端彼此相对设置，所述的第二支架的一端与第四支架的一端彼此相对设置，在第一支架与第三支架彼此相对的面上各自安装有第一电容式位移传感器的一个导电片，在第二支架与第四支架彼此相对的面上各自安装有第二电容式位移传感器的一个导电片，每一所述的柔性支链包括第一、二、三并联柔性单元、刚性移动块和形驱动环节，所述的第一、二、三并联柔性单元为由第一、二两个串联柔性单元并联后组成的柔性平行四边形结构，所述的刚性移动块的左右两端分别与第一、二并联柔性单元的一端彼此垂直相连，所述的第一、二并联柔性单元的另一端分别与基座的内壁彼此垂直相连，所述的第三并联柔性单元的一端与所述的动平台第一组垂直相邻的两个侧壁中的一个侧壁彼此垂直相连并且其另一端与所述的刚性移动块的上端侧壁彼此垂直相连，所述的形驱动环节的两个末端分别与第三、四串联柔性单元的一端侧壁垂直相连，所述的第三、四串联柔性单元的另一端侧壁分别与第一、二并联柔性单元中与其相邻设置的第一串联柔性单元的中部垂直相连，所述的第一至第四串联柔性单元结构一致并且均为在其两个相对端的每端分别对称的设置有两个半圆形凹槽的矩形块结构，两个压电陶瓷驱动器尾部均由螺栓固联于基座上并且其前端通过螺纹连接有球形接头，所述的球形接头顶在所述的形驱动环节中部侧壁上。