[发明专利]二自由度柔性微定位工作台

权利要求书

1.二自由度柔性微定位工作台，它包括基座和设置在所述的基座内的正方 体动平台，在动平台第一组垂直相邻的两个侧壁上各自连接有一个柔性支链并且 在其第二组垂直相邻的两个侧壁上分别连接有第一、二支架，在基座的两个侧壁 端面上分别连接有第三、四支架，所述的基座的两个侧壁与所述的动平台第二组 垂直相邻的两个侧壁分别平行，所述的第一支架的一端与第三支架的一端彼此相 对设置，所述的第二支架的一端与第四支架的一端彼此相对设置，在第一支架与 第三支架彼此相对的面上各自安装有第一电容式位移传感器的一个导电片，在第 二支架与第四支架彼此相对的面上各自安装有第二电容式位移传感器的一个导 电片，每一所述的柔性支链包括第一、二、三并联柔性单元、刚性移动块和形 驱动环节，所述的第一、二、三并联柔性单元各自为由第一、二两个串联柔性单 元并联后组成的柔性平行四边形结构，所述的刚性移动块的左右两端分别与第 一、二并联柔性单元的一端彼此垂直相连，所述的第一、二并联柔性单元的另一 端分别与基座的内壁彼此垂直相连，所述的第三并联柔性单元的一端与所述的动 平台第一组垂直相邻的两个侧壁中的一个侧壁彼此垂直相连并且其另一端与所 述的刚性移动块的上端侧壁彼此垂直相连，所述的形驱动环节的两个末端分 别与第三、四串联柔性单元的一端侧壁垂直相连，所述的第三、四串联柔性单元 的另一端侧壁分别与第一、二并联柔性单元中与其相邻设置的第一串联柔性单元 的中部垂直相连，所述的第一至第四串联柔性单元结构一致并且均为在其两个相 对端的每端分别对称的设置有两个半圆形凹槽的矩形块结构，其中每端的两个半 圆形凹槽的两个半圆弧面之间形成的区域构成单自由度半圆凹槽柔性铰链，对于 一个矩形块结构具有两个单自由度半圆凹槽柔性铰链，两个压电陶瓷驱动器尾部 均由螺栓固联于基座上并且其前端通过螺纹连接有球形接头，所述的球形接头顶 在所述的形驱动环节中部侧壁上以使驱动器与驱动点之间形成小面积的赫兹 接触。

2.根据权利要求1所述的二自由度柔性微定位工作台，其特征在于：所述 的第一，二支架为与动平台相连的Z型支架、所述的第三，四支架为与基座刚 性连接的L型支架，所述的Z型支架和L型支架的一端彼此相对设置。

3.根据权利要求1所述的二自由度柔性微定位工作台，其特征在于：它还包 括一个计算机，所述的计算机用于输出电压信号给两个压电陶瓷驱动器，读取所 述的第一、二电容式位移传感器输出的位移信号并与计算机中的设定值比较后输 出位移补偿电压控制信号给所述的第一、二压电陶瓷驱动器。