[发明专利]一种水平轴微机械音叉陀螺

摘要

本发明涉及一种水平轴微机械音叉陀螺，它包括衬底，衬底上，固定驱动梳与驱动电极为欧姆接触，且都与衬底固定连接；可动驱动梳的一侧通过驱动折叠梁连接框架，框架通过检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点，另一侧固定连接敏感质量块；敏感质量块通过驱动折叠梁固定连接框架，框架通过检测折叠梁和锚点固定连接在衬底上；I型、II型固定垂直检测梳固定在衬底上，I型、II型可动垂直检测梳与框架固定连接，且检测电极与I型、II型固定垂直检测梳为欧姆接触，并固定在衬底上。本发明由于采用解耦式驱动电容的，因此有效地解决驱动模态和检测模态之间的机械耦合。本发明可以广泛应用于各种领域中物体转动角速度的检测中。

主权项

一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，由固定驱动梳、驱动电极、可动驱动梳和驱动折叠梁组成的驱动单元，框架，由检测折叠梁、锚点和敏感质量块组成的敏感单元以及由变面积式垂直梳齿检测电容、相应检测电极和差分检测变间隙式检测电容组成的检测单元；所述变面积式垂直梳齿检测电容包括I型固定垂直检测梳、I型可动垂直检测梳、II型固定垂直检测梳和II型可动垂直检测梳；所述变间隙式检测电容包括检测极板；所述衬底上，所述固定驱动梳与所述驱动电极为欧姆接触，且都与衬所述底固定连接；所述可动驱动梳的一侧通过所述驱动折叠梁连接所述框架，所述框架通过所述检测折叠梁连接固定在所述衬底上的所述锚点，另一侧固定连接所述敏感质量块；所述敏感质量块通过所述驱动折叠梁固定连接所述框架，所述框架通过所述检测折叠梁和锚点固定连接在所述衬底上；所述I型、II型固定垂直检测梳固定在所述衬底上，所述I型、II型可动垂直检测梳与所述框架固定连接，且所述检测电极与所述I型、II型固定垂直检测梳为欧姆接触，并固定在所述衬底上。