[发明专利]一种水平轴微机械音叉陀螺

权利要求书

1.一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，由固定驱动梳、驱动电极、可动驱动梳和驱动折叠梁组成的驱动单元，框架，由检测折叠梁、锚点和敏感质量块组成的敏感单元以及由变面积式垂直梳齿检测电容、相应检测电极和差分检测变间隙式检测电容组成的检测单元；所述变面积式垂直梳齿检测电容包括I型固定垂直检测梳、I型可动垂直检测梳、II型固定垂直检测梳和II型可动垂直检测梳；所述变间隙式检测电容包括检测极板；

所述衬底上，所述固定驱动梳与所述驱动电极为欧姆接触，且都与衬所述底固定连接；所述可动驱动梳的一侧通过所述驱动折叠梁连接所述框架，所述框架通过所述检测折叠梁连接固定在所述衬底上的所述锚点，另一侧固定连接所述敏感质量块；所述敏感质量块通过所述驱动折叠梁固定连接所述框架，所述框架通过所述检测折叠梁和锚点固定连接在所述衬底上；所述I型、II型固定垂直检测梳固定在所述衬底上，所述I型、II型可动垂直检测梳与所述框架固定连接，且所述检测电极与所述I型、II型固定垂直检测梳为欧姆接触，并固定在所述衬底上。

2.如权利要求1所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述衬底采用硅、玻璃和二氧化硅等其中之一材料制成。

3.如权利要求1所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述可动驱动梳采用上、下两端对称地高于所述固定驱动梳的结构。

4.如权利要求1所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述可动驱动梳采用上、下两端对称地低于所述固定驱动梳的结构。

5.如权利要求1或2或3或4所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述变面积式垂直梳齿检测电容采用I型、II型两种梳齿组合，或其中的一种结构。

6.如权利要求1或2或3或4所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述驱动折叠梁、框架、检测折叠梁、敏感质量块和变面积式垂直梳齿检测电容采用硅和钛其中之一制成；所述驱动电极和检测电极采用用铝、金和钛等其中之一材料制成。

7.如权利要求5所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述驱动折叠梁、框架、检测折叠梁、敏感质量块和变面积式垂直梳齿检测电容采用硅和钛其中之一制成；所述驱动电极和检测电极采用用铝、金和钛等其中之一材料制成。

8.如权利要求1或2或3或4或7所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述驱动单元设置在陀螺的中心位置，所述检测单元设置在陀螺的外侧，所述敏感单元设置在所述框架和驱动单元之间。

9.如权利要求5所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述驱动单元设置在陀螺的中心位置，所述检测单元设置在陀螺的外侧，所述敏感单元设置在所述框架和驱动单元之间。

10.如权利要求6所述的一种水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述驱动单元设置在陀螺的中心位置，所述检测单元设置在陀螺的外侧，所述敏感单元设置在所述框架和驱动单元之间。