[发明专利]一种用于槽式清洗机的补液方法有效
| 申请号： | 200910241460.2 | 申请日： | 2009-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN101722158A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 闫志瑞;库黎明;索思卓 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于槽式清洗机的补液方法，该方法包括：1，硅片清洗流程中包括一组(＞＝2个)相同化学成分的化学液槽(SC-1、SC-2或O3/HF等化学液槽)；2，清洗过程中持续向该组化学槽的最后一个槽中注入新鲜化学液；3，按清洗工艺中硅片流程的顺序，依次把该组清洗槽中的化学液从后一个化学槽用补液泵打入到前一个化学液槽中；4，在整个清洗流程中，可以有其他化学试剂槽与该组化学槽搭配使用。通过该种方法进行补液，可以使最后一个化学槽的化学液一直保持为新鲜的，这样就可以在保证清洗效果最佳的前提下，有效地降低化学试剂的使用量，同时，由于每个化学试剂槽不需要进行定期换液，故可以有效地提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 补液 方法 | ||
【主权项】：
一种用于槽式清洗机的补液方法，它适用于硅片清洗流程中含有一组相同化学成分的化学液槽，该化学液槽的数量至少二个，该补液方法包括以下步骤：(1)、清洗过程中持续向该组化学液槽的最后一个槽中注入新鲜化学液；(2)、按清洗工艺中硅片流程的顺序，依次把该组清洗槽中的化学液从后一个化学液槽用补液泵打入到前一个化学液槽中。
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