[发明专利]静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法有效
| 申请号： | 200910237719.6 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101704498A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 陈庆华;吴文刚;杜博超;贾鲲鹏;张海霞;夏雨;郝一龙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法，该静电致动器包括：固定电极，为固定连接于衬底上的引线电极的平板电极；第一可动电极，为设置于距所述衬底设定高度的平板电极；第二可动电极，为矩形框平板电极，设置于所述第一可动电极同一平面上、所述固定电极与所述第一可动电极之间；所述第一可动电极及第二可动电极均与弹性部件相连。本发明的静电致动器具有单片集成、自适应性等技术特点，还具有高精确定位、高可靠性，能够有效克服由外部环境振动引入的冲击扰动，特别是瞬态振动引起的扰动。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 致动器 及其 制备 方法 瞬时 扰动 | ||
【主权项】：
一种静电致动器，包括：固定电极，为固定连接于衬底上的引线电极的平板电极；第一可动电极，为设置于距所述衬底设定高度的平板电极；第二可动电极，为矩形框平板电极，设置于所述第一可动电极同一平面上、所述固定电极与所述第一可动电极之间；所述第一可动电极及第二可动电极均与弹性部件相连。
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