[发明专利]制造孔隙掩模的方法无效
| 申请号： | 200910225249.1 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101713916A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 乔纳森·A·尼科尔斯;杰弗里·H·托奇;迈克尔·W·本奇;马克·A·斯特罗贝尔;乔尔·A·热舍尔;唐纳德·J·穆克卢尔 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/00 | 分类号： | G03F1/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了制造孔隙掩模的方法，包括以下步骤：提供支承表面，其中所述支承表面包括多个降低部分；提供喷焰器，其中所述喷焰器支承火焰，并且其中火焰包括与所述喷焰器相对的焰舌；使细长的柔性薄膜幅材的至少一部分顶靠接触所述支承表面；以及用源自喷焰器的火焰加热所述薄膜，以在所述薄膜的覆盖所述多个降低部分的区域中产生孔隙。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 孔隙 方法 | ||
【主权项】：
一种制造孔隙掩模的方法，包括：细长的柔性薄膜幅材；以及在所述薄膜中形成的沉积掩模图案，其中所述沉积掩模图案限定贯穿所述薄膜延伸的沉积孔隙，所述孔隙限定一个或多个电子电路元件的至少一部分；所述方法包括以下步骤：提供支承表面，其中所述支承表面包括多个降低部分；提供喷焰器，其中所述喷焰器支承火焰，并且其中所述火焰包括与所述喷焰器相对的焰舌；使细长的柔性薄膜幅材的至少一部分顶靠接触所述支承表面；以及用源自喷焰器的火焰加热所述薄膜，以在所述薄膜的覆盖所述多个降低部分的区域中产生孔隙。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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