[发明专利]具有导入装置的等离子系统有效
| 申请号： | 200910225213.3 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102065625A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;蔡陈德;许文通;苏濬贤;郑文钦;陈两仪 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有导入装置的等离子系统。该等离子系统包括一等离子腔体及一导入装置。等离子腔体包括一第一电极及一第二电极。第一电极及第二电极用以产生一等离子。导入装置包括一等离子导入管体及一反应物导入管体。等离子导入管体耦接于等离子腔体。等离子导入管体具有一入口、一出口及一外侧壁。等离子导入管体由入口导入等离子，并由出口导出等离子。外侧壁的宽度由邻近入口之处朝向邻近出口之处逐渐缩小。反应物导入管体设置于外侧壁之外。反应物导入管体用以导入一反应物至外侧壁，以使反应物沿外侧壁朝向出口之处流动，并于出口之处与等离子混合。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 导入 装置 等离子 系统 | ||
【主权项】：
一种具有导入装置的等离子系统，其特征在于，包括：一等离子腔体，包括：一第一电极；及一第二电极，该第一电极及该第二电极用以产生一等离子；以及一导入装置，包括：一等离子导入管体，耦接于该等离子腔体，该等离子导入管体具有一入口、一出口及一外侧壁，该等离子导入管体由该入口导入该等离子，并由该出口导出该等离子，该外侧壁的宽度由邻近该入口之处朝向邻近该出口之处逐渐缩小；及至少一反应物导入管体，设置于该外侧壁之外，该反应物导入管体用以导入一反应物至该外侧壁，以使该反应物沿该外侧壁朝向该出口之处流动，并于该出口之处与该等离子混合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910225213.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高低双层伞
- 下一篇：一种多线程流分支控制方法及其控制装置
