[发明专利]具有导入装置的等离子系统

权利要求书

1.一种具有导入装置的等离子系统，其特征在于，包括：

一等离子腔体，包括：

一第一电极；及

一第二电极，该第一电极及该第二电极用以产生一等离子；以及

一导入装置，包括：

一等离子导入管体，耦接于该等离子腔体，该等离子导入管体具有一入口、一出口及一外侧壁，该等离子导入管体由该入口导入该等离子，并由该出口导出该等离子，该外侧壁的宽度由邻近该入口之处朝向邻近该出口之处逐渐缩小；及

至少一反应物导入管体，设置于该外侧壁之外，该反应物导入管体用以导入一反应物至该外侧壁，以使该反应物沿该外侧壁朝向该出口之处流动，并于该出口之处与该等离子混合。

2.根据权利要求1所述的等离子系统，其特征在于，该外侧壁具有多个鳍片，该些鳍片用以带动该反应物旋转。

3.根据权利要求1所述的等离子系统，其特征在于，该等离子导入管体可转动式耦接于该等离子腔体。

4.根据权利要求1所述的等离子系统，其特征在于，该入口的直径大于该出口的直径。

5.根据权利要求1所述的等离子系统，其特征在于，该等离子导入管体电性连接于该第二电极。

6.根据权利要求1所述的等离子系统，其特征在于，该反应物导入管体垂直于该入口与该出口的联机。

7.根据权利要求1所述的等离子系统，其特征在于，该导入装置还包括：

一盖体，耦接该反应物导入管体，并具有一开口，该开口对应于该出口。

8.根据权利要求7所述的等离子系统，其特征在于，该开口的直径大于该出口的直径。