[发明专利]基板夹持部件、具有该部件的基板加工装置及方法

摘要

一种具有基板支撑部件和旋转调节单元的基板夹持部件。该支撑部件包括用以装载基板的可旋转支撑板，以及位于该支撑板上的夹持销，所述夹持销通过从基板的侧面将基板的边缘支撑起来，而将基板从支撑板的顶面间隔开。每一个夹持销都是可旋转的以转动支撑在夹持销上的基板。旋转调节单元位于支撑板下方，用来调节夹持销的旋转。在加工过程中，由于基板通过夹持销而被旋转以改变与夹持销相接触的基板的点迹，从而使加工液在与夹持销相撞之后而落入基板的位置可以被连续地改变。因此，可避免在加工基板时，在基板的端部产生缺陷。

主权项

一种基板夹持单元，包括：基板支撑部件，具有可旋转的支撑板，所述支撑板配置为在所述支撑板上装载基板，以及位于所述支撑板上的复数个夹持销，所述夹持销从基板的侧面将基板的边缘部分支撑起来，从而将装载在所述支撑板上的基板与所述支撑板的顶面间隔开，每一个所述夹持销都是可旋转的以转动支撑在所述夹持销上的基板；以及旋转调节单元，位于所述支撑板下方，用来调节所述夹持销的旋转。