[发明专利]基板夹持部件、具有该部件的基板加工装置及方法

权利要求书

1.一种基板夹持单元，包括：

基板支撑部件，具有可旋转的支撑板，所述支撑板配置为在所述支撑板上 装载基板，以及位于所述支撑板上的复数个夹持销，所述夹持销从基板的侧面 将基板的边缘部分支撑起来，从而将装载在所述支撑板上的基板与所述支撑板 的顶面间隔开，每一个所述夹持销都是可旋转的以转动支撑在所述夹持销上的 基板；以及

旋转调节单元，位于所述支撑板下方，用来调节所述夹持销的旋转；

所述旋转调节单元包括：至少一个磁性单元，围绕支撑板且位于销旋转部 的一侧，以便通过所述磁性单元与销旋转部之间的磁相互作用来调节销旋转部 的转动；以及竖直传动部，配置为可竖直地移动所述磁性单元；

所述磁性单元包括：

第一磁性单元，包括复数个彼此相互隔开的第一磁铁；

第二磁性单元，包括复数个彼此相互隔开的第二磁铁，所述第二磁性单元 与所述竖直传动部相连接并且配置为可竖直地移动，

所述第一磁铁配置为环形，并且第二磁铁也被配置为环形，所述第一磁铁 的外环为第一极性，所述第二磁铁的外环为与所述第一极性相反的第二极性。

2.如权利要求1所述的基板夹持单元，其中，每一个所述夹持销都包括：

旋转轴，设置为贯穿所述支撑板并且绕自身中心轴旋转；

支撑部，与所述旋转轴的上端相连接，用来支撑装载在所述支撑板上的基 板的边缘部分，通过转动所述旋转轴使所述支撑部是可旋转的，从而可以旋转 基板；以及

销旋转部，位于所述旋转轴的下端，所述销旋转部具有磁性从而可通过所 述销旋转部与旋转调节单元之间的磁相互作用而转动或停止。

3.如权利要求2所述的基板夹持单元，当从所述第一磁铁和第二磁铁顶部 观察时，所述第一磁铁和第二磁铁呈交替地排列。

4.如权利要求3所述的基板夹持单元，所述第二磁性单元位于第一磁性单 元下方，并且当第二磁性单元被竖直传送部提升至第一磁性单元时，每一个第 二磁铁被插入彼此相邻的两个第一磁铁之间。

5.如权利要求4所述的基板夹持单元，所述销旋转部包括：

至少两个第一销磁铁，所述第一销磁铁为扇形，且所述第一销磁铁的弧边 的极性与第一极性相同；以及

至少两个第二销磁铁，所述第二销磁铁为扇形，且所述第二销磁铁的弧边 的极性与第二极性相同，

所述第一销磁铁和第二销磁铁交替地排列。

6.如权利要求5所述的基板夹持单元，所述销旋转部为圆盘形。

7.如权利要求1所述的基板夹持单元，所述每一个夹持销相对所述支撑板 在水平位置上是可调节的。