[发明专利]靶材的制备方法有效
| 申请号： | 200910205430.6 | 申请日： | 2009-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101665909A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;钱红兵;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/28;C23C14/30;C22B9/04;C22B9/05;C22B15/14;C22B21/06;B22D11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材的制备方法，包括：提供母材，并将所述母材置于真空熔炼炉中；所述母材为原铝或原铜；将所述真空熔炼炉中的母材熔融；对已熔融的金属进行成分分析，根据所述成分分析的结果和产品要求，添加制备靶材所需的成分元素；对所述熔融金属进行脱气处理；从熔融金属中取样，进行制品分析；将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器，连续铸造；对起出后的靶材铸件进行成品检验，得到符合产品要求的靶材。相对于现有技术，本发明具有工艺简单、稳定，易于控制，具有较高的生产效率，使得制备出的靶材具有均匀性好、晶粒小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：提供母材，并将所述母材置于真空熔炼炉中；所述母材为原铝或原铜；将所述真空熔炼炉中的母材熔融；对已熔融的金属进行成分分析，根据所述成分分析的结果和产品要求，添加制备靶材所需的成分元素；对所述熔融金属进行脱气处理；从熔融金属中取样，进行制品分析；将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器，进行连续铸造，形成靶材铸件；对起出后的靶材铸件进行成品检测，筛选出符合产品要求的靶材。
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