[发明专利]靶材的制备方法

权利要求书

1.一种靶材的制备方法，其特征在于，所述靶材铸件的纯度大于99.995％， 所述制备方法包括：

提供母材，并将所述母材置于真空熔炼炉中；所述母材为原铝或原铜；

将所述真空熔炼炉中的母材熔融；

去除真空熔炼炉中熔融金属表面的氧化膜；

对已熔融的金属进行成分分析，根据所述成分分析的结果和产品要求， 添加制备靶材所需的成分元素，所述添加的成分元素包括金属元素和/或非金 属元素，所述金属元素具体选自钽、铜、铝、银、镍、铬、钛、锆、锕、钼、 钨、铂、金、铌、钴、铼、钪中的一种或多种；所述非金属元素具体选自硅；

对所述熔融金属进行脱气处理；

从熔融金属中取样，进行制品分析；

将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器， 进行连续铸造，形成靶材铸件；

对起出后的靶材铸件进行成品检测，筛选出符合产品要求的靶材；

其中，所述对已熔融的金属进行成分分析，根据所述成分分析的结果和 产品要求，添加制备靶材所需的成分元素具体包括：对已熔融的金属进行初 等化成分分析，根据所述初等化成分分析的结果和产品要求，添加一定量的 成分元素；进行一次或多次的精细化成分分析，根据所述精细化成分分析的 结果和产品要求，进行成分微调，添加微量的成分元素；

所述将所述真空熔炼炉中的母材熔融的主要工艺参数包括：工作温度为 600摄氏度至1000摄氏度，压强为0.01托至1.00托；

在将所述真空熔炼炉中的母材熔融时添加氢元素和/或硼元素。

2.根据权利要求1所述的靶材的制备方法，其特征在于，对所述熔融金属进 行脱气处理是通过添加脱气剂实现的。

3.根据权利要求1所述的靶材的制备方法，其特征在于，还包括在对所述熔 融金属进行脱气处理之后去除真空熔炼炉中熔融金属表面的氧化膜的步骤。

4.根据权利要求1所述的靶材的制备方法，其特征在于，所述对起出后的靶 材铸件进行成品检验至少包括外部检验和内部检验。

5.根据权利要求1所述的靶材的制备方法，其特征在于，所述靶材铸件的纯 度大于99.9995％。