[发明专利]光电转换装置及光电转换装置的制造方法

摘要

本发明的目的之一在于谋求同时实现光电转换装置的高效化和生产性的提高。一种光电转换装置，包括具有半导体结的单元，该单元包括：一种导电型的第一杂质半导体层；与一种导电型相反的导电型的第二杂质半导体层；以及在非晶结构中包括贯穿第一杂质半导体层和第二杂质半导体层之间的结晶区的半导体层。将稀释气体的流量比设定为半导体材料气体的1倍以上且低于10倍，优选设定为1倍以上且6倍以下而引入到反应空间生成等离子体来形成包括结晶区的半导体层。

主权项

1.一种光电转换装置，包括：衬底上的包括第一杂质元素的第一半导体层；所述第一半导体层上的包括非晶层和结晶的第二半导体层；以及所述第二半导体层上的包括第二杂质元素的第三半导体层，其中，所述结晶贯穿所述第一半导体层和所述第三半导体层之间。