[发明专利]一种垂向升降片库的定位装置和控制方法有效
| 申请号： | 200910200091.2 | 申请日： | 2009-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102087987A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张鹏远;王磊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种垂向升降片库的定位装置，包括：颜色传感器和光源，与所述片库相对位置不变；色带，沿垂向放置且固定不动，与所述片库相对位置随所述片库升降而变化；所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带，并且反射光被所述颜色传感器接收。本发明还提供一种垂向升降片库的定位控制方法。本发明中采用色带，提高了定位精度、简化了安装；占用空间小，可以采用喷涂或者用粘贴的方式，提高了可操作性；不仅可以区分一个片库垂向上的位置，还可以将多个片库区分开来。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升降 定位 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述垂向升降片库的定位装置包括：颜色传感器和光源，与所述片库相对位置不变；色带，沿垂向放置且固定不动，与所述片库相对位置随所述片库升降而变化；所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带，并且反射光被所述颜色传感器接收。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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