[发明专利]一种垂向升降片库的定位装置和控制方法有效
申请号: | 200910200091.2 | 申请日: | 2009-12-08 |
公开(公告)号: | CN102087987A | 公开(公告)日: | 2011-06-08 |
发明(设计)人: | 张鹏远;王磊 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 升降 定位 装置 控制 方法 | ||
1.一种垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述垂向升降片库的定位装置包括:
颜色传感器和光源,与所述片库相对位置不变;
色带,沿垂向放置且固定不动,与所述片库相对位置随所述片库升降而变化;
所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带,并且反射光被所述颜色传感器接收。
2.根据权利要求1所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述反射光包含颜色信号,所述颜色传感器分辨所述颜色信号以确定所述片库的垂向位置。
3.根据权利要求1所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述片库至少有一个,每一片库配备一颜色传感器、一光源和一色带。
4.根据权利要求1或2或3所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述颜色传感器与光源设置于同一密闭、无反射的箱子中。
5.根据权利要求1或2或3所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述光源为白光光源。
6.根据权利要求1或2或3所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述片库包含一外壳,所述颜色传感器和光源固定在所述外壳上。
7.根据权利要求3所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,每一所述色带由颜色各不相同的色段连接而成,每一色段在所述色带内垂向的宽度相同。
8.根据权利要求7所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述色段在所述色带内垂向的宽度为10~20厘米。
9.根据权利要求3所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,每一所述色带由两种颜色的色段交替连接组成,每一色段在所述色带内垂向的宽度相同。
10.根据权利要求9所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述色段在所述色带内垂向的宽度为1~2微米。
11.根据权利要求3所述的垂向升降片库的定位装置,其特征在于,每一所述色带由颜色各不相同的色段按三原色(RGB)值的排列组合连接而成,每一色段在所述色带内垂向的宽度相同。
12.一种垂向升降片库的控制方法,包括:
提供沿垂向放置且固定不动的色带,所述色带由至少2种颜色的色段连接而成,每一所述色段在所述色带内垂向的宽度相同;
提供颜色传感器和光源,与所述片库相对位置不变,所述光源照射所述色带并产生包含颜色信号的反射光,所述颜色传感器接收所述反射光并分辨所述颜色信号以确定所述片库垂向位置。
13.根据权利要求12所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,所述片库至少有一个,每一片库配备一颜色传感器、一光源和一色带。
14.根据权利要求13所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,每一所述色带由颜色各不相同的色段连接而成。
15.根据权利要求13所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,每一所述色带由两种颜色的色段交替连接组成。
16.根据权利要求15所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,不同的片库配备的色带含有一种相同的颜色,并且除所述相同的颜色外,所述不同的片库配备的色带的另外一种颜色各不相同,用以区分不同的片库。
17.根据权利要求16所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,所述不同的片库配备的色带含有一种相同的颜色为白色或黑色。
18.根据权利要求14或15所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,所述颜色信号为相邻色段交界线处的颜色跳变。
19.根据权利要求18所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,所述片库中含有片槽,所述相邻色段交界线与所述片槽一一对应,用以区分不同的片槽。
20.根据权利要求13所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,每一所述色带由颜色各不相同的色段按三原色(RGB)值的排列组合连接而成。
21.根据权利要求20所述的垂向升降片库的控制方法,其特征在于,所述三原色(RGB)值的排列组合方式为:用三原色(RGB)中的一种原色的一个数值代表一个片库,另外两种原色的数值排列组合标示片库在垂向的位置。
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