[发明专利]插入在电感器周围的图形填充物结构

摘要

本发明公开了一种插入在电感器周围的图形填充物结构，为多个与电感器金属线圈等高的正方形金属块，插入在电感器金属线圈的内侧区域和外侧区域，所述电感器金属线圈位于顶层金属层；所述正方形金属块的边长等于第一最小设计规则，所述第一最小设计规则为工艺允许的最小尺寸；所述图形填充物结构的密度不小于第二最小设计规则，所述第二最小设计规则为图形填充物结构密度的最小值；所述正方形金属块之间的间隔，在第三最小设计规则至间隔最大值的区间内任意取值，所述间隔最大值为：当图形填充物结构的密度等于第二最小设计规则时，正方形金属块之间的间隔；所述第三最小设计规则为工艺允许的金属间的最小间隔。该结构有效升高了电感器的品质因数。

主权项

一种插入在电感器周围的图形填充物结构，所述图形填充物结构为多个与电感器金属线圈等高的正方形金属块，插入在电感器金属线圈的内侧区域和外侧区域，所述电感器金属线圈位于顶层金属层；所述正方形金属块的边长等于第一最小设计规则，所述第一最小设计规则为工艺允许的最小尺寸；所述图形填充物结构的密度不小于第二最小设计规则，所述第二最小设计规则为图形填充物结构密度的最小值；所述正方形金属块之间的间隔，在第三最小设计规则至间隔最大值的区间内任意取值，所述间隔最大值为：当图形填充物结构的密度等于第二最小设计规则时，正方形金属块之间所具有的间隔；所述第三最小设计规则为工艺允许的金属间的最小间隔。