[发明专利]一种用于微光刻的照明光学系统

摘要

一种用于微光刻的照明光学系统，依次包含：照明光源；一组会聚透镜，对照明光源发出的光进行会聚并改变会聚后光源的数值孔径；积分棒，接收来自照明光源的光，光线经过积分棒匀光后，在积分棒出射端形成均匀照明面；中继透镜组，将从积分棒出射端出射的光会聚至掩模版上得到所需的照明视场；可变的孔径光阑，位于中继透镜组中改变掩模版上照明视场的数值孔径；掩模版，放置在中继透镜的焦平面上，在掩模版上形成所需的照明视场，其中，一组会聚透镜中各会聚透镜的数值孔径不同，根据照明视场的数值孔径更换不同数值孔径的会聚透镜和孔径光阑，孔径光阑的孔径大小与会聚透镜的数值孔径匹配，从而不损失照明能量。

主权项

一种用于微光刻的照明光学系统，该照明光学系统依次包含：照明光源；一组会聚透镜，对照明光源发出的光进行会聚并改变会聚后光源的数值孔径；积分棒，接收来自照明光源的光，光线经过积分棒匀光后，在积分棒出射端形成均匀照明面；中继透镜组，将从积分棒出射端出射的光会聚至掩模版上得到所需的照明视场；可变的孔径光阑，位于中继透镜组中改变掩模版上照明视场的数值孔径；掩模版，放置在中继透镜的焦平面上，在掩模版上形成所需的照明视场，其特征在于，所述一组会聚透镜中各会聚透镜的数值孔径不同，根据照明视场的数值孔径更换不同数值孔径的会聚透镜和孔径光阑，孔径光阑的孔径大小与会聚透镜的数值孔径匹配，从而不损失照明能量。