[发明专利]一种用于微光刻的照明光学系统

权利要求书

1.一种用于微光刻的照明光学系统，该照明光学系统依次包含：

照明光源；

一组会聚透镜，对照明光源发出的光进行会聚并改变会聚后光源的数值孔径；

积分棒，接收来自照明光源的光，光线经过积分棒匀光后，在积分棒出射端形成均匀照明面；

中继透镜组，将从积分棒出射端出射的光会聚至掩模版上得到所需的照明视场；

可变的孔径光阑，位于中继透镜组中改变掩模版上照明视场的数值孔径；

掩模版，放置在中继透镜的焦平面上，在掩模版上形成所需的照明视场，

其特征在于，所述一组会聚透镜中各会聚透镜的数值孔径不同，根据照明视场的数值孔径更换不同数值孔径的会聚透镜和孔径光阑，孔径光阑的孔径大小与会聚透镜的数值孔径匹配，从而不损失照明能量。

2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其中，会聚透镜是单个会聚透镜或者会聚透镜组。

3.根据权利要求2所述的照明光学系统，其中，会聚透镜组是横向排列或者旋转排列的。

4.根据权利要求2所述的照明光学系统，其中，单个会聚透镜是可以更换的单个会聚透镜。

5.根据权利要求2或3所述的照明光学系统，其中，透镜组中的透镜通过手动更换或者通过马达带动自动更换。

6.根据权利要求1～4所述的照明光学系统，其中，照明视场的数值孔径为0.2NA、0.18NA、0.15NA、0.1NA四档可变，所述一组会聚透镜中有三个不同数值孔径的会聚透镜，光线经不同的会聚透镜进入积分棒的数值孔径分别为0.29*2、0.29*1.8、0.29*1.5，照明视场的数值孔径为0.1NA时积分棒的入射端不加会聚透镜。

7.根据权利要求1～4所述的照明光学系统，其中，所述照明光源与会聚透镜之间还包括椭球反射镜。