[发明专利]一种测试样品承载装置无效

专利信息
申请号: 200910198065.0 申请日: 2009-10-30
公开(公告)号: CN102053034A 公开(公告)日: 2011-05-11
发明(设计)人: 李刚;郑鹏飞;刘云海;丁佳妮 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01N3/02 分类号: G01N3/02;G01N3/60;G01R1/04;G01R31/28
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 20120*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种测试样品承载装置,包括:底座,所述底座上具有样品承载室,所述样品承载室的四周具有相对所述底座突起的分隔栏;所述样品承载室内的四周还具有相对所述底座突起的承载栏,所述承载栏的高度低于所述分隔栏的高度;所述承载栏内具有贯通的通孔。本发明提供的测试样品承载装置通过分隔栏和承载栏对测试样品进行固定,测试时产生的冷热高速转换气流不会使测试样品产生移动或碰撞,从而避免了测试样品的引脚弯曲变型甚至损坏。
搜索关键词: 一种 测试 样品 承载 装置
【主权项】:
一种测试样品承载装置,其特征在于,包括:底座,所述底座上具有样品承载室,所述样品承载室的四周具有相对所述底座突起的分隔栏;所述样品承载室内的四周还具有相对所述底座突起的承载栏,所述承载栏的高度低于所述分隔栏的高度;所述承载栏内具有贯通的通孔。
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