[发明专利]一种液相脉冲激光诱导制备纳米晶二氧化钛薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种液相脉冲激光诱导制备纳米晶二氧化钛薄膜的方法，步骤为，(1)将衬底基片清洗后垂直放入石英容器，浸泡在体积浓度为1％～10％的TiCl4溶液中，其导电面对准激光光源，进行激光脉冲诱导合成反应，使纳米晶二氧化钛沉积在衬底基片表面；反应时间为15～90min；衬底基片与激光光源的距离为10～35cm；激光频率1～30Hz，能量50～1000mJ，功率4～10W；(2)静置24～72小时，取出衬底基片清洗干燥。本方法可以在常温常压下操作，省去复杂的真空沉积系统，而且不需要昂贵的金属为靶源，工艺简单，成膜条件易于控制，薄膜的形貌规整，层次分明，性能优良，为脉冲激光制备薄膜与合成纳米材料提供了一种途径。

主权项

一种液相脉冲激光诱导制备纳米晶二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将衬底基片清洗后垂直放入石英容器，浸泡在体积浓度为1％～10％的TiCl4溶液中，其导电面对准激光光源，进行激光脉冲诱导合成反应，使纳米晶二氧化钛沉积在衬底基片表面；反应时间为15～90min；衬底基片与激光光源的距离为10～35cm；激光的频率为1～30Hz，能量为50～1000mJ，功率为4～10W；(2)静置24～72小时，取出衬底基片清洗干燥。