[发明专利]一种液相脉冲激光诱导制备纳米晶二氧化钛薄膜的方法无效
| 申请号： | 200910198042.X | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101712450A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 王国兵;付敏恭;杜国平 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82B3/00;H01G9/042;H01G9/20;H01M14/00;H01L51/48 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 吴瑾瑜 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 激光 诱导 制备 纳米 氧化 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种液相脉冲激光诱导制备纳米晶二氧化钛薄膜的方法，其特征 在于，包括以下步骤：
(1)将衬底基片清洗后垂直放入石英容器，浸泡在体积浓度为 1％～10％的TiCl4溶液中，其导电面对准激光光源，进行激光脉冲诱 导合成反应，使纳米晶二氧化钛沉积在衬底基片表面；
反应时间为15～90min；
衬底基片与激光光源的距离为10～35cm；
激光的频率为1～30Hz，能量为50～1000mJ，功率为4～10W；
(2)静置24～72小时，取出衬底基片清洗干燥；
所述的衬底基片选自导电玻璃或导电塑料。
2.权利要求1所述的一种液相脉冲激光诱导制备纳米晶二氧化钛薄 膜的方法，其特征在于，所述的导电玻璃为FTO导电玻璃、ITO导电 玻璃或AZO导电玻璃。
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