[发明专利]一种薄膜自动剥离装置

摘要

本发明公开了一种薄膜自动剥离装置，它包括直流电机、拨盘、驱动板、活塞、缸体、泵、储液盘、样品台。特点是；电机提供动力，通过机械机构由电机的旋转运动转变为活塞在缸体内往复直线运动，缸体的一端与泵连通，在活塞的驱动下，泵把试剂从储液盘里吸入，又喷出到样品台。台面上装有待处理的样品，样品在试剂反复喷射的作用下，达到表面薄膜剥离的目的。

主权项

1.一种用于半导体解质膜和金属膜的自动剥离装置，它包括直流电机(1)、拨盘(3)、驱动板(4)、活塞(8)、缸体(9)、泵(11)、储液盘(18)、蓄液桶(15)、样品浮动台(16)，其特征在于：直流电机(1)通过机架(2)用螺钉固定在矩形立方体支架(21)的左侧面上，所述的直流电机上端转轴上装有金属拨盘(3)，拨盘(3)平面的边缘垂直向上固置有金属拨杆(5)，在所述的矩形立方体支架(21)上面安装有滚珠直线导轨(20)，沿导轨中心线方向从左到右依次置有驱动板(4)、垂直板(6)、活塞(8)、缸体(9)和泵(11)，驱动板(4)左端通过将拨杆(5)套在驱动板的滑槽(401)中与拨盘(3)连接在一起，驱动板(4)的右端与垂直板(6)和活塞(8)固联在一起，缸体(9)的一端与泵(11)是连通的，在泵(11)的下方安放有储液盘(18)，在储液盘(18)中安放有蓄液桶(15)，蓄液桶(15)中有放置样品浮动台(16)，待处理的样品(12)被装夹在样品浮动台(12)上面。所述的泵(11)的吸液管(111)一头垂直向下浸没在储液盘18内的试剂里，所述的泵(11)的喷液管(110)的一头对准所述的样品浮动台(16)上的待处理样品(12)。直流电机(1)提供动力，通过拨盘(3)上的拨杆(5)驱动板(4)和垂直板(6)将直流电机(1)的旋转运动转变为活塞(8)在缸体(9)内往复直线运动，在活塞的驱动下泵把试剂从储液盘(18)内吸入后喷射到样品浮动台(16)的样品(12)上，样品(12)在试剂反复喷射的作用下，其表面的薄膜被自动剥离。