[发明专利]一种薄膜自动剥离装置

权利要求书

1.一种用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，它包括直流电机(1)、 拨盘(3)、驱动板(4)、活塞(8)、缸体(9)、泵(11)、储液盘(18)、蓄液 桶(15)、样品浮动台(16)，其特征在于：

直流电机(1)通过机架(2)用螺钉固定在矩形立方体支架(21)的左侧 面上，所述的直流电机上端转轴上装有金属拨盘(3)，金属拨盘(3)平面的 边缘垂直向上固置有金属拨杆(5)，在所述的矩形立方体支架(21)上面安装 有滚珠直线导轨(20)，沿导轨中心线方向从左到右依次置有驱动板(4)、垂 直板(6)、活塞(8)、缸体(9)和泵(11)，驱动板(4)左端通过将金属拨 杆(5)套在驱动板的滑槽(401)中与金属拨盘(3)连接在一起，驱动板(4) 的右端与垂直板(6)和活塞(8)固联在一起，缸体(9)的一端与泵(11) 是连通的，在泵(11)的下方安放有储液盘(18)，在储液盘(18)中安放有 蓄液桶(15)，蓄液桶(15)中有放置样品浮动台(16)，待处理的样品(12) 被装夹在样品浮动台(16)上面；所述的泵(11)的吸液管(111)一头垂直 向下浸没在储液盘(18)内的试剂里，所述的泵(11)的喷液管(110)的一 头对准所述的样品浮动台(16)上的待处理样品(12)；

直流电机(1)提供动力，通过金属拨盘(3)上的金属拨杆(5)、驱动驱 动板(4)和垂直板(6)将直流电机(1)的旋转运动转变为活塞(8)在缸体 (9)内往复直线运动，在活塞的驱动下泵把试剂从储液盘(18)内吸入后喷 射到样品浮动台(16)的样品(12)上，样品(12)在试剂反复喷射的作用下， 其表面的薄膜被自动剥离。

2.根据权利要求1所述的用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，其 特征在于：所述的直流电机(1)通过电源(22)调节转速，调速范围为12-24 转/分钟。

3.根据权利要求1所述的用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，其 特征在于：所述的驱动板(4)用铜制成，其一端加工有可以套入拨盘(3)上 面的拨杆(5)的滑槽(401)，其另一端的垂直侧面上加工有两个可以与垂直 板(6)连接的内螺孔(402)。

4.根据权利要求1所述的用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，其 特征在于：所述的缸体(9)呈圆柱管状形，其中一端的管孔套在活塞(8)上， 另一端的管孔通过水嘴(90)与泵(11)连通。

5.根据权利要求1所述的用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，其 特征在于：所述的缸体(9)和活塞(8)都用玻璃制成，或用玻璃注射器替代。

6.根据权利要求1所述的用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，其 特征在于：所述的泵(11)是一个“丁”字形的“块”，由耐腐蚀的聚四氟乙 稀材料做制成；顺其横、竖结构，内部为水平方向和垂直方向两垂直相交的孔， 水平方向孔有两出口，分别与水嘴(90)、喷液管(110)相通；垂直方向孔的 出口与吸液管(111)相通；在孔内靠近吸液管(111)和喷液管(110)处各 装有一单向阀(114，116)，在一定方向的压力下，分别控制进液和出液。

7.根据权利要求1所述的用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，其 特征在于：所述的蓄液桶(15)呈桶状形，用聚四氟乙稀材料做成，在蓄液桶 (15)壁上距桶口1/4桶高处开有一个控制桶内液面的小孔(17)。

8.根据权利要求1所述的用于半导体介质膜和金属膜的自动剥离装置，其 特征在于：所述的储液盘(18)为一个玻璃圆盘。