[发明专利]光罩传送方法及装置有效
| 申请号： | 200910188499.2 | 申请日： | 2009-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102087474A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 宣胤杰;张贤识;梁孙欢 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25J9/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。本发明在取板抓手的安全顶针前端安装传感器，探测安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，在安全顶针与光罩锁轮凹槽接触时停止传送并发出警报，解决了安全顶针与光罩锁轮凹槽接触发生摩擦产生铁屑的问题，有效地避免了光罩传送时铁屑对光罩的污染，减少了废品的产生，极大的节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；在安全顶针与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。
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