[发明专利]光罩传送方法及装置有效
| 申请号： | 200910188499.2 | 申请日： | 2009-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102087474A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 宣胤杰;张贤识;梁孙欢 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25J9/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送 方法 装置 | ||
1.一种光罩传送方法，包括如下步骤：
取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；
检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；
在安全顶针与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。
2.根据权利要求1所述的光罩传送方法，其特征在于：所述检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触的步骤通过在机械手臂取板抓手的安全顶针前端安装传感器来实现。
3.根据权利要求2所述的光罩传送方法，其特征在于：所述传感器为压力传感器。
4.根据权利要求3所述的光罩传送方法，其特征在于：所述压力传感器探测到有压力时表明安全顶针与光罩锁轮凹槽接触，探测不到压力时表明安全顶针与光罩锁轮凹槽不接触。
5.根据权利要求1所述的光罩传送方法，其特征在于：还包括增大光罩锁轮凹槽宽度的步骤。
6.一种光罩传送装置，包括光罩锁轮以及取板抓手；所述光罩锁轮用来调整光罩升降的高低，所述光罩锁轮上设有限定所述取板抓手夹取光罩的位置的凹槽；所述取板抓手包括安全顶针，所述取板抓手夹取光罩时，所述安全顶针沿着所述光罩锁轮凹槽方向伸进所述光罩锁轮的凹槽中，其特征在于：所述光罩传送装置还包括报警模块及与所述报警模块连接的探测传送光罩时所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽之间接触状况的传感器，所述报警模块在所述传感器探测到所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽之间接触时发出警报。
7.根据权利要求6所述的光罩传送装置，其特征在于：所述传感器设置在所述安全顶针前端。
8.根据权利要求6或7所述的光罩传送装置，其特征在于：所述传感器为压力传感器。
9.根据权利要求8所述的光罩传送装置，其特征在于：所述压力传感器探测到有压力时表明所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽接触，探测不到压力时表明所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽不接触。
10.根据权利要求6所述的光罩传送装置，其特征在于：所述凹槽宽度大于30mm。
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