[发明专利]一种改进型单晶硅棒切断机无效
申请号: | 200910182714.8 | 申请日: | 2009-09-03 |
公开(公告)号: | CN101664967A | 公开(公告)日: | 2010-03-10 |
发明(设计)人: | 赵旭明;吴东晓 | 申请(专利权)人: | 无锡机床股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) | 代理人: | 顾吉云 |
地址: | 214061江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种改进型单晶硅棒切断机。其一次性装夹工件后,通过驱动装置调节单晶硅棒的进给量,多次切断,能保证切断后单晶硅两端面的平行度,且工作效率高。其包括切割部分、进给部分、夹具,所述切割部分通过连接板连接所述进给部分,所述夹具支承于所述进给部分上端,其特征在于:所述进给部分包括X轴进给机构、Z轴偏移机构,所述X轴进给机构、Z轴偏移机构外露端各自连接其对应的驱动装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 改进型 单晶硅 切断 | ||
【主权项】:
1、一种改进型单晶硅棒切断机,其包括切割部分、进给部分、夹具,所述切割部分通过连接板连接所述进给部分,所述夹具支承于所述进给部分上端,其特征在于:所述进给部分包括X轴进给机构、Z轴偏移机构,所述X轴进给机构、Z轴偏移机构外露端各自连接其对应的驱动装置。
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